方案設(shè)計(jì)
合肥電子光學(xué)萬級(jí)無塵車間工程案例
來源：www.sisli.com.cn 作者：空氣好凈化
發(fā)布時(shí)間:2021-08-09 15:04:55點(diǎn)擊:次
一、萬級(jí)凈化概括：
萬級(jí)凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)，拌有回流或渦流，不同等級(jí)的無塵室，主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實(shí)現(xiàn)。目前有十萬級(jí)和三十萬級(jí)兩種標(biāo)準(zhǔn)。
二、萬級(jí)凈化潔凈室：
潔凈室，亦稱為無塵室或清凈室。是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
三、萬級(jí)凈化作用
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級(jí)為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。
四、萬級(jí)凈化潔凈室分類：
1、工業(yè)潔凈室——以無生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
2、生物潔凈室，主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無生命微粒（塵埃）對(duì)工作對(duì)象的污染。又可分為；A、一般生物潔凈室，主要控制微生物（細(xì)菌）對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。B、生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）、
五、萬級(jí)凈化亂流潔凈室的原理和特性：
1、定義：亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室.
2、原理：亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的（亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級(jí)以上至30萬級(jí)凈化級(jí)別）。
3、特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級(jí)別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）
（1）、自凈時(shí)間：是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。1,000級(jí)希望不超過20min(分鐘)(可取15min計(jì)算)10,000級(jí)希望不超過30min(分鐘)(可取25min計(jì)算)100,000級(jí)希望不超過40min(分鐘)(可取30min計(jì)算)
（2）、換氣次數(shù)（按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì)）1,000級(jí)43.5—55.3次/小時(shí)(規(guī)范:50次/小時(shí))10,000級(jí)23.8—28.6次/小時(shí)(規(guī)范:25次/小時(shí))100,000級(jí)14.4—19.2次/小時(shí)(規(guī)范:15次/小時(shí))
六、萬級(jí)凈化潔凈室換氣次數(shù)估算：
千級(jí)潔凈室不小于50次/h；萬級(jí)潔凈室不小于25次/h；十萬級(jí)潔凈室不小于15次/h。萬級(jí)換氣次數(shù)[1]≥25次/小時(shí)（一般取27-28）；十萬級(jí)換氣次數(shù)≥15次/小時(shí)（一般17-18）但是不能盲目按照換氣次數(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)風(fēng)量，要考慮房間及工藝余熱、余濕。
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